한국자동차모빌리티산업협회(KAMA)와 한국로봇산업협회(KAR)가 두 산업 간 융합과 협회의 협력을 확대하기 위한 업무협약(MOU)을 체결했다고 25일 밝혔다. 지난 24일 로보월드 전시회가 열리고 있는 경기도 고양시 킨텍스에서 진행된 MOU 체결식에는 강남훈 KAMA 회장과 김진오 KAR 회장, 이상창 기술보증기금 상임이사, 정순백 삼광그룹 대표, 김진후 ..
반도체 장비업체 세메스는 국내 최초로 플라즈마 타입의 반도체 건식 세정장비(설비명 퓨리타스)를 개발해 양산에 들어간다고 21일 밝혔다. 이 설비는 반도체 패턴(미세회로)의 미세화, 고집적화 추세에 따라 공정의 한계가 있는 기존 습식 세정방식이 아닌 건식 세정방식을 채택해 제작했다. 웨이퍼에 다이렉트 플라즈마를 쓰지 않고 리모트 플라즈마를 사용해 다양한 막질
